本文提出了一种基于双微机电系统(MEMS)谐振器的温度传感器.在该传感器中,读出电路通过测量由具有不同温度系数的单独石英晶体谐振器产生的两个时钟的频率比来估计温度,该电路采用0.18μmCMOS工艺实现,在100 Hz带宽下实现20μK的分辨率,同时功耗为19 mW,分辨率FOM为0.04pJK2.
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