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可编程晶体振荡器实为有源晶振,石英可编程(Q MEMS)具有高稳定、高精度等优越性能的石英材料[QUARTZ]和[MEMS]组合而成的造词,以石英为原料进行精微加工(光刻)并可以提供的小型化、高性能的晶体元器件被称为[Q MEMS]。
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